计量学报杂志文献阅读_大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的实验研究

大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的实验研究

周奇; 刘炳锋; 连笑怡; 陈本永; 黄鹭; 李琪; 高思田浙江理工大学机械与自动控制学院; 浙江杭州310018; 北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院; 北京100192; 中国计量科学研究院; 北京100029

摘要：搭建了基于激光干涉仪测量原理的三轴微位移测量系统，对大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准进行实验研究。介绍了双频激光干涉仪测量系统的构成；编写了纳米位移台的控制程序和激光干涉仪数据采集程序；阐述了位移台的非线性校准方法，并通过实验对比了多项式三阶拟合和三阶分段拟合的差别，验证了校准方法的准确性。实验表明：使用三阶分段拟合的校准方法效果更好，校准前，x轴的最大非线性误差为4．052μm，y轴的最大非线性误差为2．927μm；校准后，x轴的最大非线性误差为15nm，y轴的最大非线性误差为17nm，仅为原始非线性误差的1％。

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