加急见刊

采用三稳频激光源实现绝对长度测量

陈强华; 刘斌超; 罗会甫; 罗军; 吕唯唯; 王锋 北京理工大学机械与车辆学院; 北京100081; 北方工业大学机械与材料工程学院; 北京100144; 北京理工大学物理学院; 北京100081

摘要：合成波长法利用多个波长构建数值足够大的合成波长,从而可实现绝对测量.然而实际应用中要找到波长值合适且波长稳定性足够高的多个波长难度很大.本文研究了一种长度绝对测量光路,采用三个高精度稳频波长构建合成波长链,建立合成波长链测量公式及其级间过渡条件,搭建相移干涉光路测量各单一波长的干涉级次小数值,最后实现绝对长度的高精度测量.对零膨胀微晶玻璃样品进行了长度测量实验,实验结果及误差分析表明长度测量不确定度约为3nm.所提方法对样品的初测精度要求较低,而测量范围仅受干涉光路的长度限制.

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