加急见刊

液体静压丝杠驱动的超精密运动系统设计与实验研究

刘远航; 王波; 乔政; 吴言功; 刘长江 哈尔滨工业大学机电工程学院; 哈尔滨150001

摘要：本文设计了液体静压丝杠驱动的超精密直线运动系统,完成了机械结构、控制系统装配与搭建;通过实验表明液体静压丝杠驱动的运动系统能够达到10nm运动分辨率（反馈分辨率5nm）,具有良好的刚度特性、稳态特性以及动态跟踪特性,适合作为超精密加工设备的驱动装置。

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