加急见刊

TaAgN复合膜显微结构、力学性能和摩擦性能的研究

黄婷; 喻利花; 许俊华 江苏大学京江学院; 江苏镇江212013; 江苏科技大学材料学院; 江苏镇江212003

摘要：采用非平衡反应磁控溅射法制备了TaAgN复合膜。利用X射线衍射仪、CSM纳米压痕测试仪和摩擦磨损测试了复合膜的显微结构、力学性能和摩擦性能。结果显示,TaAgN复合膜由面心立方结构的TaN相和底心斜方结构的Ta4N相组成。随着Ag靶功率的增加,硬度H、弹性模量E、弹性恢复We和H^3/E^2值均呈先升高后降低的趋势,最大值分别为34GPa,394GPa,57%和250MPa。随着Ag靶功率的增加,TaAgN复合膜室温下的平均摩擦因数呈降低趋势。当Ag靶功率为25W时,随着温度的升高,TaAgN复合膜的平均摩擦因数逐渐减小。

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