加急见刊

MEMS的微冷却技术及喷雾冷却过程强化

王宝和 李群 大连理工大学化工学院 大连116024

摘要：本文对微机电系统（MEMS）的微通道冷却、微射流冲击冷却、微喷雾冷却、微热管冷却及半导体冷却技术的研究现状进行综述，并探讨了喷雾冷却的影响因素、传热机制及过程强化问题。

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