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基于创制加工式的超镜面平面研磨抛光工艺方法的研究

陈文清 深圳市沓索科技有限公司沓索研究院; 广东深圳518172; 香港沓索科技有限公司; 香港999077; 深圳市信一精机科技有限公司超精密加工实验室; 广东深圳518172

摘要：以光学镜面模具平面工件为实验工件,从加工设备、原材料配制以及工艺精度成形原理等方面系统提出一种超镜面平面研磨抛光工艺方法,制定相应的工艺实施路线并进行评价。成功解决了研磨抛光过程的润滑和发热等问题,从而降低工件表面出现各种微细缺陷的概率,得到完美的镜面表面。此方法可以广泛应用与集成电路制造、医疗器械、汽车配件、数码配件、精密模具、航空航天等领域。

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